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小型快速退火炉\红外灯管加热炉退火炉
  • 小型快速退火炉\红外灯管加热炉退火炉

小型快速退火炉\红外灯管加热炉

  • 厂家: 高温气氛炉
  • 别称:退火炉
  • 温度:℃
  • 规格:
  • 类型:高温管式炉
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    小型快速退火炉应用:

    小型快速退火电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速降温。红外线灯管是填充气体内含有部分卤族元素或卤化物的充气白炽灯。这种红外灯管加热元件是为滑轨炉设计的,升温速率可达到120℃/S。
    应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验.

    小型快速退火炉特点:

    小型快速退火电炉可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体,加之强风冷设计,可对样品进行快速升降温处理;管内测温设计,
    温控精度高,额定升温速率50℃/s;紧凑的台式设计,快速连接法兰,减少了炉管因安装造成损坏的可能,方便操作。

     

    小型快速退火炉参数:

    产品名称 RTP-小型快速退火炉
    额定功率 9KW
    额定电压 220AC 50/60Hz
    额定温度 1000°C
    连续工作 950°C(<1 小时)
    加热区长度 300mm
    恒温区长度 100mm
    加热元件 红外灯管
    温度控制 国产程序控温系统可编程50段程序控温;
    控制精度 ±1℃
    石英管尺寸 Φ110*380MM
    炉管材质 石英管
    滑动距离 355mm
    滑动方式 手动滑动
    建议升温速度 室温900℃:30℃/sec
    900℃~1000℃: 10℃/sec
    外形尺寸 950 X 350 X 530 mm
    重量 45Kg
    标准配置 气路一套(含真空压力表)石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。

     

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