多通道混气系统：3路浮子混气系统
3路浮子混气系统是一款小型的多通道混气系统，每路气体可通入混合罐中进行混气。可用于惰性气体的控制，可用以小型管式炉，手套箱，等离子清洗机，小型PECVD系统等。
3路浮子混气系统特点
1. 本配比器适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。
2. 气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观，实用，操作简便。
3. 流量显示准确，可有效地控制气体消耗量。
4.所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。
3路浮子混气系统主要参数：
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产品型号 |
AMS 3路浮子供混气系统
3-way float air mixing system |
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浮子流量计 |
10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min （流量可根据客户需要选配） |
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机械压力表 |
量程范围： |
-0.1-0.15MPa（0.01MPa/grid） |
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针阀： |
316不锈钢 |
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管件： |
不锈钢Φ6〞，尼龙管L12〞IDΦ6〞 |
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气体混料罐： |
Φ80×140mm不锈钢混气罐 |
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截止阀： |
316不锈钢针阀Φ6〞 |
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| 可选 |
可选 CVD或者PECVD。 液相气体发生器。 1200℃微型二通道混气CVD系统 Plasma等离子清洗 |
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