RTP快速热处理退火炉\快速升温管式炉
什么炉子升温速度比较快？
RTP快速热处理退火炉为洛阳西格马高温电炉生产的快速升温管式炉，又称快速升温退火炉。RTP快速热处理退火炉采用快速热处理退火炉加热，温度可达1000度。该炉可采用圆形或对开式设计，炉体采用双层壳体结构，炉膛采用日本氧化铝多晶体纤维材料，由于较大升温速率可达到50℃/s，可以对基片薄膜进行快速退货处理，炉内装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源。
快速热处理退火炉简称 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），在原有生产制造工艺的基础上不断改进，现已自主研发了该款产品。不但拥有非常快的升温速率 100℃/S，而且在烧结工艺运行完结，直接将试样在高温区取出。退火炉实现物理状态下的快速降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺，退火炉在绿色节能的基础上实现了试样的快速升降温。设备采用了内管进气、外管出气的气路结构，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是 CVD 法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触，确认试样温度的准确性。
快速热处理退火炉
| 电炉名称 | RTP快速热处理退火炉 |
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加热元件 |
12根碘钨灯管 |
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控温方式 |
采用日本岛电或英国欧陆Eurotherm、厦门宇电温控仪表，智能温控，多段编程，温度反应更快、控温更加灵敏。 |
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炉膛材料 |
1、真空吸滤成型的高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 2、采用日本技术成型。 3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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触发器 |
移相触发 |
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电器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106-16E 德国西门康 |
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较高温度 |
≤1000℃ |
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加热段长度 |
240mm |
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升温速率 |
≤50℃/ S（可根据要求修改） |
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热电偶型号 |
K型 |
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四周表面温度 |
≤45℃ |
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开盖保护系统 |
当炉盖打开时继电器会自动切断主电源，有效地保证使用者的安全。 |
