高真空系统：混气高真空系统
复合分子泵机组是由复合分子泵，前级抽气泵，隔断放气阀，前级管路，分子泵电源、高真空检测系统（复合真空计），控制电源等组装于机架上而成的清洁真空获得设备。
该系统安装有预抽气旁路，预抽时气体从旁路经过、不经过分子泵，这样就避免了预抽时气体中混带的颗粒进入分子泵。如果安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。
复合分子泵机组技术参数：
1、环境温度：5~32℃
2、空气相对湿度≦80%
3、工作电压：220V±10%50~60HZ
4、功率：1KW
5、前级泵：TRP-24
6、抽气速率：6L/S
7、分子泵：FJ-620
8、抽气速率（对空气）：600L/S
9、建议启动压强：＜100Pa
10、排气口法兰：KF40
11、进气口法兰：DN160LF
12、波纹管：KF40X1000
13、分子泵上限压强：6×10Pa
14、复合真空计：ZDR-III
15、真空电磁挡板阀：KF40
16、分子泵机组抽真空腔体时腔体所能达到的真空度：＜8X10-4Pa
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