1200度滑道式PECVD系统设备
滑道式PECVD系统设备系统简介
西格马PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜, PECVD系统广泛应用于沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管（CNT）等。
滑道式PECVD系统设备由1200度滑动式管式炉加热系统、真空系统、质量流量计供气系统、等离子射频电源组成。滑动式管式炉的炉体可以沿底部轨道左右获得，了实现快速降温。
滑道式PECVD系统设备功能特点
1、滑道式管式炉的加热元件采用掺钼合金加热丝，系统组成。炉膛保温材料采用多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显于国内纤维材料。
2、整个CVD涂层化学气相沉积的炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1200℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
3、炉膛采用节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
4、炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了。
5、超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠具有多重防护功能。
滑道式PECVD系统设备结构
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设备名称 |
等离子气相沉积PECVD系统 |
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管式炉部分 |
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加热区长度 |
300mm/440mm/600mm-1200mm（可选） |
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加热区段数 |
单温区/双温区/三温区/四温区/五温区/多温区/（可选） |
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炉管直径 |
直径60mm/80mm-100mm-120mm-125mm/230mm（可选） |
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工作温度 |
≦1100℃ |
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额定温度 |
1200℃ |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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温控系统 |
30段PID微电脑可编程自动控制 |
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保温温控精度 |
±1℃ |
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温控保护 |
具有超温和断偶保护功能 |
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升温速率 |
0-20?C/min |
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加热元件 |
高电阻电热合金丝OCr27A17Mo |
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工作电压 |
AC 220V 单相 50HZ |
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炉膛材料 |
采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡 |
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密封系统 |
该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好 |
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炉 管 |
高纯石英管 |
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炉壳温度 |
≤45℃ |
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真空系统部分 |
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名称 |
旋片泵/扩散泵组/分子泵组（可选） |
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主要参数 |
真空泵真空度6.67*10-3Pa（包含KF25接口和可移动箱体） |
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真空显示 |
四川成都睿宝数显真空计，实时显示真空度 |
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真空显示量程 |
其测量范围为1×105--1×10-5pa |
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气路系统部分 |
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名称 |
质量流量计 |
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气路 |
2路/3路/4路/5路/6路多路（可选） |
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流量控制 |
液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体含有针阀单控制 |
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链接方式 |
双卡套接头 |
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流量计 |
质子流量计 |
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流量范围 |
MFC范围: 0~500 sccm（可选） |
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控制精度 |
±1.5%F.S左右，量程不同，略有差别 |
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工作环境温度 |
5℃-45℃ |
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等离子射频器部分 |
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名称 |
射频自动匹配器 |
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型号 |
VERG-500+VENA-500 |
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匹配功率范围 |
0-500W |
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工作频率 |
13.56MHZ+0.005% |
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正常工作反射功率 |
＜3W |
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匹配时间 |
＜3S |
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传输效率 |
＞90% |
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匹配器电源 |
AC220V/50-60HZ |
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输入连接器 |
N型 |
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输出连接器 |
UHF |
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控制模式 |
手动/自动 |
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可设预置点数 |
7 |
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匹配阻抗范围 |
实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗) |
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匹配器尺寸 |
340X230X130 MM |
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提供相关配件 |
气路一套，数显真空计1个，真空泵一台、炉堵2对，高密封法兰1对，石英管1根，密封圈4对，高温手套1对，坩埚钩1把，真空泵连接管件1套，拆卸法兰六角扳手1把，保修卡说明书1份等 |
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电气认证 |
欧盟CE认证 IS90001质量体系认证 |
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售后保障 |
12个月（易损件除外） |
