2300度立式真空碳管炉
立式真空碳管炉是一种以石墨碳管为发热元件、立式布置、可在高真空或保护气氛下工作的高温电阻炉，
本立式真空碳管炉为立式真空电炉,由炉盖、炉体、炉底和真空机组组成,炉壳内层是不锈钢,外层是碳钢,两层之间用水冷却。炉壳上设有抽气口、观察孔、热电偶孔、保护气氛进出口、防爆口等。炉内装有石墨电极,它与石墨发热体采用圆柱面接触联结,电极各有一端通过密封伸出炉外,它是使电流能通到炉内发热体的重要部件。发热体的周围有多层辐射屏组成的隔热屏装置。
立式真空碳管炉广泛应用于无机非金属材料、金属粉末、硬质合金、稀土氧化物、半导体材料等的高温烧结、退火、提纯等工艺。
典型应用
无机材料:氧化铝、氧化锆、碳化硅、氮化硅等陶瓷烧结
金属材料:硬质合金、钛合金、钼合金等真空烧结
稀土处理:稀土氧化物提纯、还原
半导体:蓝宝石退火、晶圆热处理
科研实验:高校、研究所用于中试或小批量制备
主要技术参数
| 电炉名称 |
2300度立式真空碳管炉 |
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工作温度 |
1200℃～2200℃(根据客户要求) |
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设计温度 |
2300℃ |
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工作区尺寸 |
Φ120mm~Φ600mm×H100mm~ H500mm(根据用户要求确定)。 |
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加热方式 |
石墨碳管 |
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升温速率 |
≤10℃/min |
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负载降温时间 |
5小时 |
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温控方式 |
可编程全自动控制 programmable and PID auto control 钨套管钨铼热电偶 |
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温度均匀性 |
≤±5℃ |
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液压控制 |
电动 |
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极限真空度: |
6.7×10-3Pa(冷态) |
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压力波动: |
≤±0.1 MPa、 位移精度0.02 mm |
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充气压力 |
≤ 0.05MPa(微正压) |
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压升率: |
2 Pa/h |
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额定电压 |
三相 380V 50Hz |
结构特点
炉体结构:立式布置,占地面积小,炉盖可开启,便于装卸料。
加热元件:采用石墨发热体(碳管),耐高温、升温快、寿命长。
保温系统:多层石墨碳毡或陶瓷纤维隔热,热损失小,温度均匀性好。
冷却系统:双层水冷结构(内层不锈钢抛光,外层碳钢防腐),有效降低炉壳温度。
真空系统:通常配置机械泵+扩散泵,极限真空度可达 10?2Pa 甚至更高。
工作原理
利用石墨碳管通电发热,在真空或惰性气氛下对物料进行辐射加热。
真空系统先由机械泵抽至低真空,再由扩散泵抽至高真空状态。
温控系统采用程序控温仪+热电偶/红外测温,实现多段升温、恒温、降温控制
顶部装料真空碳管炉、底部电动升降平台真空碳管炉，卧室真空碳管炉，真空碳管炉适合批量或实验使用
