3路质子混气系统
3路质子混气系统是一种用于控制一种到三种气体流经真空密封的管式炉的设备。这种系统通常安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面。气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料等领域有广泛应用。
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