1200度双炉体滑动管式炉
1200度双炉体滑动管式炉为1200℃小型滑动式管式电炉，该1200℃小型滑动式管式电炉具有2个可滑动的炉体。滑动方式可选手动滑动、自动滑动。自动滑动由温度控制器自动控制移动。当程序完成，炉子按设定的速度滑动。
炉子的底部安装有一对滑轨，可手动使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧，以实现快速加热和快速冷却。
两个炉体可在双向导柱滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速升降温的需求。同时可选配电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
1200度双炉体滑动管式炉型号规格：
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电炉名称 |
1200℃小型滑动式管式电炉 |
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电炉型号 |
SKGMMTF40-12 |
SGM-MT60-12 |
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温区 |
单温区 |
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加热区长度 |
210mm |
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恒温区长度 |
100mm |
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石英管管径（可选配） |
Φ40 |
Φ60 |
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额定功率 |
2Kw |
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额定电压 |
220V |
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滑动距离 |
300mm |
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滑动方式 |
自动滑动/手动滑动(由温度控制器自动控制移动。当程序完成，炉子按设定的速度滑动） |
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设计温度 |
1200℃ |
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加热元件 |
高电阻电热合金丝0Cr27A17Mo2 |
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炉管材料 |
石英玻璃管 |
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炉管工作温度 |
﹤1100℃ |
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温度控制 |
国产程序控温系统30段程序控温 |
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空炉升温时间 |
﹤15min |
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控制精度 |
±1℃ |
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配置炉管时升温速度 |
500℃以下≤5℃/min；500-800℃≤10℃/min；800-1000℃≤5℃/min；1000-1200℃≤2℃/min |
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外型尺寸 (长*宽*高） |
1400x30x700mm |
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重量 |
35Kg |
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标准配置 |
气路总成一套（含真空压力表）石英管一支、石英堵两个、石英舟一个、钩子一把、高温手套一副。 |
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