设备名称

  4路质子混气管式PECVD系统

主要特点

  1、内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。

  2、辉光放电等离子体中电子密度可达109-1012cm3。

  3、电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍。

  4、配有高精度数字显示质量流量计，可准确地控制气体流量。

  5、一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀。

  6、不锈钢针阀安装在左侧部分，可手动控制混合气体的输入。

技术参数

  开启式管式炉

  1、电源：AC220V  4KW

  2、炉管：Φ50mm，Φ60mm，Φ80mm都可用

  3、温度控制器：30段高精度数字可编程温度控制器

  4、加热区：440mm

  5、恒温区：150mm

  等离子射频电源

  1、输入功率：AC220V  1KW

  2、输出功率：50-500W可调，±1%

  3、RF频率：13.56MHz可调，±0.005%稳定

  4、噪声：≤55DB

  5、冷却：风冷

  真空泵和质量流量计

  1、真空度：10-3torr

  2、波纹管：KF25系列

  3、质量流量计：0-200，误差0.02%，进气口采用国际标准双卡头

产品规格

  尺寸：管式炉550mm×380mm×520mm，供气及真空系统600mm×600mm×1250mm

  重量：约120kg

可选配件

  防腐型数字式真空计