4路质子混气管式PECVD系统设备\1200℃ PECVD furnace
4路质子混气管式PECVD系统设备是由洛阳西格马高温电炉研发生产的PECVD系统设备。4路质子混气管式PECVD系统设备由SGM开启式管式炉、 等离子射频电源、4路质子混气系统，真空系统组成。
4路质子混气管式PECVD系统设备1200℃ PECVD furnace
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设备名称 |
4路质子混气管式PECVD系统 |
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主要特点 |
1、内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。 2、辉光放电等离子体中电子密度可达109-1012cm3。 3、电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍。 4、配有高精度数字显示质量流量计，可准确地控制气体流量。 5、一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀。 6、不锈钢针阀安装在左侧部分，可手动控制混合气体的输入。 |
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技术参数 |
开启式管式炉 1、电源：AC220V 4KW 2、炉管：Φ50mm，Φ60mm，Φ80mm都可用 3、温度控制器：30段高精度数字可编程温度控制器 4、加热区：440mm 5、恒温区：150mm |
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等离子射频电源 1、输入功率：AC220V 1KW 2、输出功率：50-500W可调，±1% 3、RF频率：13.56MHz可调，±0.005%稳定 4、噪声：≤55DB 5、冷却：风冷 |
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真空泵和质量流量计 1、真空度：10-3torr 2、波纹管：KF25系列 3、质量流量计：0-200，误差0.02%，进气口采用国际标准双卡头 |
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产品规格 |
尺寸：管式炉550mm×380mm×520mm，供气及真空系统600mm×600mm×1250mm 重量：约120kg |
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可选配件 |
防腐型数字式真空计 |
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