小型CVD设备配套供气系统：多路气体配比器
- 品牌：SGM
- 类型：高温电炉系列
- 温度：
- 规格：
产品详情
小型CVD设备配套供气系统又称小型多路气体配比器，有浮子流量计气体配比器、质子流量计气体配比器。
气路有2路、3路、4路、5路；
仪器特点：
1、外形美观，实用性强，操作简便；
2、采用耐腐抛光不锈钢管，或耐腐聚四氟乙烯管；
3、可靠的混气装置，可保证气体混合的均匀性；
4、均采用标准尺寸接头，确保其通用性；
5、 多路气体混合可咨询沟通定制；
主要技术参数：
产品型号：GS-2F、GS-3F、GS-4F
流量计类型：浮子流量控制器
气管：采用洁净抛光的气路专用耐腐不锈钢管或耐腐蚀抗老化的聚四氟乙烯气管（可选）
进气接口数量：2、3、4
接口尺寸：1/4”双卡套接头
流量计测量范围：20-200ml/min；60-600ml/min；0.1-0.8L/min等多个规格可选
压差范围：0-0.15MPa
设备使用注意事项：
1、确保管道内压力＜0.15MPa；
2、气柜连接好气瓶后要用肥皂水进行检漏测试；
4路浮子流量计混气系统：
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产品型号
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GS-4F
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浮子流量计
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10-100ml/min
16-160ml/min
25-250ml/min
50-500ml/min
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机械压力表
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量程范围：
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-0.1-0.15MPa（0.01MPa/grid）
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针阀：
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316不锈钢
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管件：
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不锈钢Φ6〞，尼龙管L12〞IDΦ6〞
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气体混料罐：
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Φ80×140mm
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截止阀：
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316不锈钢针阀Φ6
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供气系统4路质子:
该供气系统是一种可控制四种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制，此款设备与各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
技术参数
| 型号 |
GS-4Z 触摸屏控制 |
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质量流量控制器
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工作电压：
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185~245V 50HZ
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输出功率：
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18W
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流量计标准量程：
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100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选）
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工作温度：
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5~45℃
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工作压差：
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0.1~0.5MPa
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最大压力：
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3MPa
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准确度：
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±1.5% FS
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机械压力表
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测量范围：
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-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
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针阀
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316不锈钢
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混气罐
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Φ80×120mm
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截止阀
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Φ6mm”316不锈钢针阀
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尺寸
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600×600×650 mm
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TAG:多路气体配比器
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