2300度立式真空碳管炉

立式真空碳管炉是一种以石墨碳管为发热元件、立式布置、可在高真空或保护气氛下工作的高温电阻炉，

本立式真空碳管炉为立式真空电炉,由炉盖、炉体、炉底和真空机组组成,炉壳内层是不锈钢,外层是碳钢,两层之间用水冷却。炉壳上设有抽气口、观察孔、热电偶孔、保护气氛进出口、防爆口等。炉内装有石墨电极,它与石墨发热体采用圆柱面接触联结,电极各有一端通过密封伸出炉外,它是使电流能通到炉内发热体的重要部件。发热体的周围有多层辐射屏组成的隔热屏装置。

立式真空碳管炉广泛应用于无机非金属材料、金属粉末、硬质合金、稀土氧化物、半导体材料等的高温烧结、退火、提纯等工艺。

典型应用

无机材料:氧化铝、氧化锆、碳化硅、氮化硅等陶瓷烧结

金属材料:硬质合金、钛合金、钼合金等真空烧结

稀土处理:稀土氧化物提纯、还原

半导体:蓝宝石退火、晶圆热处理

科研实验:高校、研究所用于中试或小批量制备

主要技术参数

 结构特点

炉体结构:立式布置,占地面积小,炉盖可开启,便于装卸料。

加热元件:采用石墨发热体(碳管),耐高温、升温快、寿命长。

保温系统:多层石墨碳毡或陶瓷纤维隔热,热损失小,温度均匀性好。

冷却系统:双层水冷结构(内层不锈钢抛光,外层碳钢防腐),有效降低炉壳温度。

真空系统:通常配置机械泵+扩散泵,极限真空度可达 10?2Pa 甚至更高。

工作原理

利用石墨碳管通电发热,在真空或惰性气氛下对物料进行辐射加热。

真空系统先由机械泵抽至低真空,再由扩散泵抽至高真空状态。

温控系统采用程序控温仪+热电偶/红外测温,实现多段升温、恒温、降温控制

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