1200度RTP真空快速退火炉\滑轨快速退火炉

SGM RTP真空快速退火炉是由洛阳西格马高温电炉研发的小型实验快速退火炉。真空快速退火炉包括底座、炉座、内罩和退火罩和冷却罩组成。红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速降温。炉膛自动左右移动，炉膛在左侧加热到设定温度后，直接移动到右侧样品区域，实现样品快速升温，样品加热到设定温度和时间后，炉膛自动移开样品加热区，实现样品的快速降温。成仪AIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制，而且还能自动平衡炉管内的压力大小，真正实现了操作方便，而且安全可靠。

使用示例：

样品加热到1000℃后，炉膛自动移开加热区，冷却气体自动打开直吹样品表面实现极速降温，样品温度降到70℃时自动关闭冷却气体。然后炉膛移动到加热区继续加热，如此往复，往复次数可用户自定义。真空系统可根据用户设定温度自动开启和关闭。
快速退火炉一般都是以碘钨灯管为加热元件，升温速度极快，采用S型热电偶测温并采用国际的模糊PID控制，具有很高的控温精度〈±5℃〉，快速退火炉具有真空装置，可在多种气氛下工作。大大提高了其使用范围。标准配件需：高温手套1付，热电偶1根，石英管1根，真空法兰1套。可选配件：氧化铝坩埚，石英坩埚，真空泵。

真空快速退火炉炉体采用双层钢结构，高纯度Al2O3纤维耐火保温材料，额定节约能源；耐火陶瓷上的高纯度氧化铝涂层可延长使用寿命；氧化铝管塞可帮助您 在管内建立自定义的温度梯度。
洛阳西格马高温电炉可生产真空快速退火炉、快速退火炉RTP。真空快速退火炉可应用在不同气氛环境下使用,如惰性气体、氧气、氢氮混合气等。异的温控均匀性,的工艺重复性。

RTP真空快速退火炉主要用途：

RTP快速退火炉的主要特点有：可在真空/不同气氛/空气不同环境下，对样品进行快速热处理；控温精度高；适合高等院校或研究机构科研使用；主动式水循环冷却模式；立式设计；仪器采用触摸屏技术：操作方便，装取样片简单高效；价格合理，高性价比。

RTP真空快速退火炉结构特点：

1、红外卤素灯管加热，冷却采用风冷（低噪音水平，无需压缩空气）；

2、加热由功率控制而非电压控制，避免了由于灯丝老化电阻改变导致的后续使用中加热不均的问题，保证了良好的重现性及均温性，即使在后续使用过程中更换了部分新的灯管也可以达到设计初的热处理效果；

3、石英腔体，腔体冷却采用水冷，冷壁设计，双层不锈钢；

冷壁水冷技术点在于：1、无记忆，2、工艺重复性高，3、冷却速度快；

4、反应腔室的设计，气体的进入口设计在wafer的表面，避免在退火过程中冷点的产生。很好的保证了样品在加热过程中的均温性；

5、快速数字PID控温；

6、热电偶配合高温计控温，测试样品的温度，控温精准；

7、大气和真空工艺均适合，净化气体配针阀；

8、设计多5路工艺气体，配数字质量流量控制器；

9、电脑通过以太网连接更快的数据传输速度；

10、可选配石墨托盘表面涂SiC薄膜设计，用于小样品测试；

11、可选配分子泵，用于高真空测试；

RTP真空快速退火炉主要技术参数：

电炉名称	真空快速退火炉
产品型号	SGM-RTP1200/60IT
电气规格	AC220V  2、5KW
额定温度	1200 ℃ （<1小时）
连续温度	1100 ℃ （连续）
额定加热速率	≤  20 ℃/分钟
加热区长度	200mm
炉管尺寸	Φ60*1000mm（直径可选80、100、120）
控制系统	1、可预存15条温度曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦； 2、实验过程更加直观，操作更加便捷； 3、SGM-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，非线性式样温度修正； 4、具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。
温度精度	+/- 1 ℃
加热元件	Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金
密封系统	真空度：≤10Pa（机械泵）
压力测量与监控	采用带有减震油的机械压力表，可以防止压力表指针损坏。
供气系统	采用浮子流量计控制，与设备一体化，方便控制，出厂前已进行漏气测试工作。
设备使用注意事项	1、 设备退火炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害； 2、 设备使用时，炉管内压力不得超过0、125MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏； 3、 真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃。    4、 供气钢瓶内部气压较高，向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在选购试验用小压力减压阀，减压阀量程为0、01MPa-0、15MPa,使用时会更加精度安全。    5、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；    6、高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃    7、加热的实验时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0、02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）
服务支持	1年质保，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如炉管和O形圈等）

真空快速退火炉使用注意事项：

1、 炉子次使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。

2、 炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透（又叫析晶性）是连熔石英管的一个固有缺陷，属正常现象。

3、 冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升

温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。

4、 定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。

5、 炉子使用过一段时间后，若真空度降低，可分别更换不锈钢法兰盘之间的耐温硅胶圈或重新安装不锈钢法兰盘或更换修理真空系统，以提高系统的整体真空度。

6、 炉子在工作过程中，一般在300℃左右若控制偏差还不能消除，出现温度显示值与程序给定值不符或摆动过大，检查参数“M5、P、t”设置是否准确。

7、 此炉适用于下列工作条件：

（1）环境温度在-10～75℃之间。

（2）周围环境的相对湿度不超过85%。

（3）炉子周围没有导电尘埃，爆炸性气体及严重破坏金属和绝缘材料的腐蚀性气体。

（4）没有明显的倾斜﹑振动和颠簸。