SGM1700度二通道混气高真空CVD系统是由洛阳西格马高温电炉研发生产的的二通道高真空CVD系统,1700度二通道混气高真空CVD系统是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其工作温度可达1600℃,极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精度的混气,然后导入到管式炉内部。
洛阳西格马高温电炉可生产1200度二通道混气高真空CVD系统、1700度二通道混气高真空CVD系统、1200度双温区三通道混气高真空CVD系统、1200度三双温区三通道混气高真空CVD系统。
温度:1200℃、1700℃
温区:单温区、双温区、三温区
炉型:开启式管式炉、滑轨式管式炉、可旋转管式炉(回转炉)
混气系统:双通道、三通道、四通道、五通道
流量计:浮子混球系统、质子混气系统
附件:进料系统
高真空CVD系统是一款专业在沉底材料上生长高质量石墨烯、碳纳米管、碳化硅的专用设备,广泛应用于在半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。
TF-1700度管式炉 | 壳体 |
1、采用双层壳体结构,并带有风冷,使得壳体表面的温度 < 55°C. 2、内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命 3、保温材料采用高纯氧化铝纤维,环保节能,减少热量的损失 4、真空泵和气体混合系统位于移动架上,方便移动 5、仪器上已经安装高真空法兰,阀门,高真空机组 |
炉管 |
6、材质: 高纯氧化铝陶瓷管 7、 一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上 (标配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (54mm) x 1000mm Length (选配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (74mm) x 1000mm Length |
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功率 | 6KW | |
工作电压 | AC 208-240V单相, 50/60Hz | |
加热元件 | 8 根1800°C grade MoSi2 heating element | |
工作温度 |
额定温度.: 1700°C 连续工作温度.: 1600°C |
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升温速率 | ≤5°C/min | |
加热区长度 |
加热区长度: 457 mm (18") 恒温区长度: 150 mm (6")(+/-1°C)注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 |
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温控系统 |
采用PID方式自动控制,并可设置30段升降温程序 控温精度: ±1°C 控温仪表操作视频 热电偶: B 型,已经安装在炉内 |
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真空法兰 |
一对不锈钢真空密封法兰已经安装 法兰上带有一机械压力表 两个精密针阀 一个KF-25连接器 和KF-25 转 KF-40 抽气接口 一个1/4"卡套接头 |
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外形尺寸 | 550 x 380 x 520mm | |
高真空机组 | 功率 | 100~110W |
工作电压 | AC 208-240V单相, 50/60Hz | |
外形尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | |
壳体 |
壳体尺寸:600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 额定承载量:600 Lbs on top 分子泵控制面板:LCD 数字显示 内装有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany: |
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控制面板 |
一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动) 系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率 |
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抽气速率 |
N2 33 L/s He 39 L/s (2340L/minute) H2 32 L/s |
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工作范围 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
极限 | <1E-8 mbar (without any leaking ) | |
MFC 质量流量控制器 | 壳体 |
采用 316不锈钢制作 混气箱尺寸: Φ80X120mm 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm MFC控制面板 (Click to enlarge),可根据客户要求定制 |
功率 | 18W | |
工作电压 | AC 208-240V, 单相, 50/60Hz | |
质保期 | 一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件 | |
可认证 |
CE 认证 所有电器元件(>24V)都通过 UL / MET / CSA 认证 |
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