CVD系统设备:3路浮子混气+三温区1700℃管式炉-洛阳西格马高温电炉

CVD系统设备:3路浮子混气+三温区1700℃管式炉

CVD系统设备:3路浮子混气+三温区1700℃管式炉是由洛阳西格马电炉生产,CVD系统设备采用SGM1700℃三温区管式炉与3路浮子混气以及真空系统搭建。

CVD系统设备:3路浮子混气+三温区1700℃管式炉

CVD系统设备:3路浮子混气+三温区1700℃管式炉是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统,其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。

CVD系统设备:3路浮子混气+三温区1700℃管式炉技术参数

炉体结构

采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃

炉膛材料采用高纯氧化铝纤维,额定程度减少能量损失

内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长炉膛的使用寿命

三个温区分别被三个立的温控系统控制

功率

9 KW(需要75A的空气开关 )

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz

加热区

总加热区长度:25" (630 mm)

加热温区1长度:7.5" (190 mm) 1400℃ 通过4根硅碳棒加热,额定温度可达1400℃

升温速率: 10℃/min

加热温区2长度:10" (250 mm)1700℃ 通6根硅钼棒加热,额定温度可达1700℃

设计快升温速率:5℃/min

加热温区3长度:7.5" (190 mm) 1400℃ 通过4根硅碳棒加热,额定温度可达1400℃

额定升温速率:10℃/min

炉管和法兰尺寸

99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube

尺寸:2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Length

一对60mm的不锈钢密封法兰,法兰上已安装阀门和仪表

仪器中包括4个氧化铝管堵

温控系统

3个温控系统,都是PID30段程序化控温 

控温精度度

±1℃

低真空系统

采用TRP-12的双旋机械泵,其针对于本公司的管式炉,真空度可达到 10-2 Torr.

一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上,其尺寸为 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式炉上的法兰相连接

数字式真空显示计

CE认证的皮拉尼式数显真空计,带有LED数字式显示,其量程为10-4 to 1000 Torr.

三路浮子混气系统

3个浮子流量计(精度度4%FS)安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。

一第路气体流量范围为10-100 cc/min.

第二路气体流量范围为16-160 cc/min.

第三路气体流量范围为25-250 cc/min.

一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接

移动架上安装有4个不锈钢针阀

尺寸

高温炉:   863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H  inch)


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