1200度三温区双管炉为西格马高温电炉研发生产的具有三温区的双管管式炉,1200度三温区双管炉工作温度可以达到1200℃,具有三个温区,三个温区都是采用30段可编程PID数字温度控制器进行温度控制,控温精度 ± 1 ºC。采用双石英炉管,在加热管一端安装有一对高真空不锈钢法兰,法兰上安装有机械压力表和阀门。
专门针对于用CVD方法在金属箔上生长薄膜物质,如石墨烯、太阳能电池的电极材料和电池电极材料等。
1、炉管:双根石英炉管, 外管直径为 130 mm(5"),内管直径为101 mm(4"),使用时把金属箔附在内管上
2、特殊的真空法兰可以使反应气体通过两管之间冷却气体可以从内管通过,对基底进行快速冷却
3、工作温度可达: 1200℃
4、温区:具有3个温区,可立控温
炉体结构 |
三个加热温区总长: 900mm(36") |
温区 1: 229mm (9") |
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温区2: 457mm (18.0") |
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温区3: 229 mm (9") |
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恒温区:625mm(三个温区设置同样的温度) |
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恒温精度: ± 1℃ |
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三个温区采用PID30段程序化立控制 |
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控温精度: ± 1° C |
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额定工作温度:1200℃ |
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连续使用温度:1100℃ |
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推荐升温速率: <= 20℃ /min |
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炉膛 |
内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长炉膛的使用寿命 |
电源 |
AC 208-240V 单相, 50/60 Hz (需要40A 的空气开关 ). |
额定功率:7 KW |
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炉管 |
炉管为高纯石英管 |
外管尺寸:130mm O.D. x 122 mm I.D. x 1480 mm |
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内管尺寸: 102mm O.D. x 94 mm I.D. x 1540 mm |
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炉体尺寸 |
1030 x 430 x 580 mm |
净重 |
90 kg |
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