炉体结构

双层炉壳间配有风冷系统，表面温度低；
质高纯氧化铝多晶纤维炉膛，保温性能良好

炉子底部装有一对滑轨，移动平稳

炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却

炉盖可开启设计，可以实时观察加热的物料、更换炉管便捷

加热系统

加热元件采用质合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、经久耐用

额定温度：1200℃

工作温度：≤1100℃

加热区长度：300mm

恒温区长度：200mm

推荐升温速率：10℃/min

温控系统

温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能

30段升降温程序

测温元件：K型热电偶

恒温精度：±1℃

电源

电压：AC220V 50/60Hz；功率：4KW

炉管

高纯石英管

尺寸：Φ60*1250mm、Φ80*1250mm、Φ80*1250mm

法兰及支撑

SUS304不锈钢法兰，通过用硅橡胶“O”型圈紧密密封

通过KF卡箍完成法兰的连接，放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑架，平衡炉管的受力情况

包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合

供气系统

标准量程：100，200 ，500，1000SCCM； （以氮气标定，除以上标准外量程可选）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%F.S.

重复精度：±0.2%F.S.

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

额定压力：3MPa

接头类型：Φ6,1/4''双卡套不锈钢接头

显示：4位数字显示

流量规格：0~500sccm

流量精度：±1.5%

高真空真空系统

机械泵
抽气速率：4L/S
容油量：1.1L
电机功率：400W
极限压强：6×10-2Pa
分子泵
抽气速率：100L/S
极限压强：6×10-6Pa
启动时间：＜2min
额定转速：4300转/分
冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷。
分子泵控制器
电压：220V±22V
启动电流：≤7A
输入频率：47HZ—63HZ
额定输出功率：≤150W
额定加速电压：≤40V
加速时间：≤3min
频率（双速）：高速705HZ±10HZ       低速430HZ±5HZ
复合真空计
测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）
工作模式：手动/自动

电阻规
测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa
有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa
控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa
电离规
可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa
有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa
控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa
规管除气方式：焦耳去气

射频电源系统

输出功率:5-500W 

功率稳定度：±0.1%

射频电源频率:13.56MHz 稳定性±0.005% 

额定反向功率:200W      

射频接口:       50 Ω, N-type

冷却:风冷

电源:AC187-253V 50/60Hz

输入功率：1KW  AC 220V