高温气氛炉运行环境

高温气氛炉运行环境

气路系统

保护气氛:高纯氬气。充气压力2Bars手动球阀、电磁阀、防爆阀、被调阀、316L不锈钢管路、扩散硅压力传

感器、电接点压力表、浮子流量计组成。系统可根据不同温度段充入不同压力的冷却气体，充气压力到达压力上限设定点可 自动停止充气，超压时可自动排压，当低于压力下限设定点又可自动补气。带有一路手动，用于高温停水充气保护。

气路系统

真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极都需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位:采用闭式水循环系统，每个电极冷却均配有水流量观察仪:主管路配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上:以备停电时紧急使用。建议配8P工业制冷机

安全系统

安全系统包括:停水、超温、加热过流、旋片泵、分子泵，设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护

安全系统

1.环境条件

1)环境温度: - 15- 45*C

2)海拔高度:≤2000m

3)环境相对湿度:≤75%

2、电源条件

1)额定电压:三相380V(土 10V)

2)额定频率: 50Hz

3)整机配电功率:≥35KW

3.水冷条件

1)水压: 0.2-0.4MPa

2)进水温度:≤15"C

3)水流量:≥5m3/h

4)水质要求:不含泥沙及杂质的软水，电阻率≥1M(Q:mm2/m), PH≈7。本产品在运行时要求持续供应符合要求的冷却水，为保证本产品的安全，需方须自备紧急用水源，当停电时仍有冷却水供给。

4.气体

1)氮气:用于保护气氛纯度3 9999%，02-0.4MPa

2)压缩空气:用于启动装置的驱动气源、压力0.3~0.6

MPa;无油、无水干净的气体。