5路质子流量计气体配比器
供气系统 5路质子 GMF-5Z
该供气系统是一种可控制五种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制，此款设备与真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
主要技术参数：
|
组件
|
技术参数
|
|
|
质量流量控制器
|
工作电压：
|
185~245V 50HZ
|
|
输出功率：
|
18W
|
|
|
流量计标准量程：
|
50sccm，100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选）
|
|
|
工作温度：
|
5~45℃
|
|
|
工作压差：
|
0.1~0.5MPa
|
|
|
压力：
|
3MPa
|
|
|
准确度：
|
±1.5% FS
|
|
|
机械压力表
|
测量范围：
|
-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
|
|
针阀
|
316不锈钢
|
|
|
混气罐
|
Φ80×120mm
|
|
|
截止阀
|
Φ6mm”316不锈钢针阀
|
|
|
尺寸
|
600×600×650 mm
|
|
推荐内容
NEWS
