多通道混气系统:3路浮子混气系统
3路浮子混气系统是一款小型的多通道混气系统,每路气体可通入混合罐中进行混气。可用于惰性气体的控制,可用以小型管式炉,手套箱,等离子清洗机,小型PECVD系统等。
3路浮子混气系统特点
1. 本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。
2. 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观,实用,操作简便。
3. 流量显示准确,可有效地控制气体消耗量。
4.所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。
3路浮子混气系统主要参数:
产品型号 |
AMS 3路浮子供混气系统
3-way float air mixing system |
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浮子流量计 |
10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min (流量可根据客户需要选配) |
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机械压力表 |
量程范围: |
-0.1-0.15MPa(0.01MPa/grid) |
针阀: |
316不锈钢 |
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管件: |
不锈钢Φ6〞,尼龙管L12〞IDΦ6〞 |
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气体混料罐: |
Φ80×140mm不锈钢混气罐 |
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截止阀: |
316不锈钢针阀Φ6〞 |
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可选 |
可选 CVD或者PECVD。 液相气体发生器。 1200℃微型二通道混气CVD系统 Plasma等离子清洗 |