高真空系统:混气高真空系统
复合分子泵机组是由复合分子泵,前级抽气泵,隔断放气阀,前级管路,分子泵电源、高真空检测系统(复合真空计),控制电源等组装于机架上而成的清洁真空获得设备。
该系统安装有预抽气旁路,预抽时气体从旁路经过、不经过分子泵,这样就避免了预抽时气体中混带的颗粒进入分子泵。如果安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛用于表面分析,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。
复合分子泵机组技术参数:
1、环境温度:5~32℃
2、空气相对湿度≦80%
3、工作电压:220V±10%50~60HZ
4、功率:1KW
5、前级泵:TRP-24
6、抽气速率:6L/S
7、分子泵:FJ-620
8、抽气速率(对空气):600L/S
9、建议启动压强:<100Pa
10、排气口法兰:KF40
11、进气口法兰:DN160LF
12、波纹管:KF40X1000
13、分子泵上限压强:6×10Pa
14、复合真空计:ZDR-III
15、真空电磁挡板阀:KF40
16、分子泵机组抽真空腔体时腔体所能达到的真空度:<8X10-4Pa