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高真空系统:混气高真空系统

复合分子泵机组是由复合分子泵,前级抽气泵,隔断放气阀,前级管路,分子泵电源、高真空检测系统(复合真空计),控制电源等组装于机架上而成的清洁真空获得设备。
该系统安装有预抽气旁路,预抽时气体从旁路经过、不经过分子泵,这样就避免了预抽时气体中混带的颗粒进入分子泵。如果安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛用于表面分析,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。

复合分子泵机组技术参数:

1、环境温度:5~32℃

2、空气相对湿度≦80%

3、工作电压:220V±10%50~60HZ

4、功率:1KW

5、前级泵:TRP-24

6、抽气速率:6L/S

7、分子泵:FJ-620

8、抽气速率(对空气):600L/S

9、建议启动压强:<100Pa

10、排气口法兰:KF40

11、进气口法兰:DN160LF

12、波纹管:KF40X1000

13、分子泵上限压强:6×10Pa

14、复合真空计:ZDR-III

15、真空电磁挡板阀:KF40

16、分子泵机组抽真空腔体时腔体所能达到的真空度:<8X10-4Pa

 

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