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1100℃小型高温高压管式炉\实验室用1000度管式炉

SGM 1100度双温区湿度可控氢气热处理炉是由洛阳西格马高温电炉研发生产的实验室用小型双温区电阻炉,双温区湿度可控氢气热处理炉带有两通道气体控制器,气液混合罐,露点仪和氢气探测器。

 1100度双温区湿度可控氢气热处理炉用途:

 1100度双温区湿度可控氢气热处理炉可用于对材料进行湿氢处理,以达到材料表面部分氧化,同时也进行各种CVD实验。精密露点仪测量精度可以达到 +/-1.5%RH。若有实验中发生氢气微露现象(氢气爆炸点的10%),3M公司的氢气探测器将发生报警信号,使整个实验在绝对安全的环境下进行。

双温区湿度可控氢气热处理炉技术参数

炉体结构

 

 

双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于60℃
采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有质的1760度高温氧化铝涂层(可延长设备使用寿命和提高加热效率)
开启式炉体设计,方便更换炉管
仪器包括氢气探测器和蜂鸣报警器,达到安全实验
带有气液混合罐,并套有加热环,控制器控制升降温

大功率

4KW

输入电压

AC 208 - 240V 单相 (需要30A 的空气开关 )

加热元件

掺钼铁铬铝(电阻丝的表面涂有的高温氧化锆涂层,可以提高加热元件的使用寿命)

加热区长度

两个温区,每个温区长度为200mm,
总温区长度:400mm
恒温区:200mm(两个温区可设置同样的温度)

高工作温度

1200℃(小于1小时)

连续工作温度

1100℃

建议升温速率

10°C /min

炉管和法兰

高纯石英管:Φ50 (OD)×Φ44 (ID) ×1000 L, mm
           Φ60 (OD)×Φ54 (ID) ×1000 L, mm
           Φ80 (OD)×Φ74 (ID) ×1000 L, mm
           Φ100 (OD)×Φ94 (ID) ×1000 L, mm
304不锈钢法兰,上面安装有机械压力表和针阀,炉管内真空度可以达到10 - 5 torr(采用分子泵)

温控系统

两个温区分别由两个控温仪表立控制,可设置30段升降温程序。
采用PID方式控制升降温
带有过热和断偶保护
控温精度+/- 1 ?C
炉体面板上有RS485接口,可额外在本公司购买控温软件,可将升温程序和温度曲线导入到电脑中
 

气体控制

安装有两个50-500ml/min浮子流量计,控制进气流量
一个浮子流量计直接与法兰相连接,可通入干燥的氢气进入炉管
另一个浮子流量计与气液混合罐,可通入湿氢进入炉管中。
可在本公司选购质量流量计控制系统,可以更精度地控制气体流量。

气液混合罐

一个304不锈钢混合罐,容积为600ml( 80OD x 200H, mm)
混合罐放置在一个加热环中

露点仪

 

一个精密的露点仪,带有KF25接头
测量范围:0 - 100% RH (精度为1.5%FS),-60? ~ +60? DP(精度+/-0.3?)
可调试混合罐的温度和氢气流量来调节水分含量

氢气探测器

工作温度:-18?C - 65?C
报警点:氢气爆炸点的10%

仪器尺寸

1400×600×1200mm 

质保期

一年质保期(不包括炉管,密封圈和加热元件等易耗件)

可认证

CE Certified


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