1400度双温区CVD系统|1400度双温区管式炉
SGM1400度双温区CVD系统产品描述:
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统,采用双层壳体结构,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料。双温区管式炉具有2个温区,每个温区可以立控制、设置不同的温度。供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
1400℃真空管式炉不仅可以抽真空,也可以通气体保护。其结构使得拆装炉管方便,操作简捷,使用者可直接将密封腔体移出炉体,加快降温过程,透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。法兰采用卡箍快捷接头,减去了取放料时的繁琐操作, 炉管工件横穿与上下各8组电阻丝的炉膛。
1400度双温区管式炉炉体采用双层壳体结构,标配30段程序控温系统,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温。该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点。可做单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。
主要用途:
管式炉是高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测用的高温设备产品。
1400度双温区CVD系统技术参数:
1、电炉型号:SGM1400度双温区管式炉
2、炉管长度:Φ60X1200mm(炉管可按需定制)
3、额定温度:1400℃
4、额定温度:1350℃
5、各温区加热段:210mm+210mm
6、加热元件:硅碳棒
7、热电偶:S型
8、升温速率:≤10℃/min
9、温控方式:智能化30段可编程控制
10、供气系统:流量调节可选质子流量计或浮子流量计
11、混气路数:可选2路、3路、4路、5路相混合
12、功率:7KW
13、电压:220V
双温区管式炉结构特点:
炉膛材料:采用氧化铝多晶纤维材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。
加热元件:采用良的加热元件,温场均衡、使用寿命长。
炉管材质:炉管采用99刚玉管、两端用304不锈钢法兰密封。
温控系统:SGM1400度双温区CVD系统控温仪表:采用厦门宇电程序控温仪表。(可选配日本岛电,英国欧陆等品牌)
1、30段程序控温智能PID调节。(可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表)
2、具有过温保护、断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路会自动切断,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。
3、带有485通讯接口(选购软件时标配)
4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
5、仪表具有温度自整定的功能。
安全系统:
1、SGM1400度双温区CVD系统开门保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者。
2、漏电保护功能:该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。
控制系统:
1、电器:正泰,
2、可控硅:德国西门康106/16E,
3触发器:移相触发。
可选配件:
1、液晶触摸屏控制器或温度控制器
2、炉膛与炉管尺寸可定做
3、可增加进气、排气阀门
4、炉膛材料可选材料
5、可选UL认证电器板