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SGM 三温区立式管式炉
颗粒悬浮立式管式炉是一款流化床立式管式炉，专门针对粉末表面沉积的CVD实验。反应气体和均匀地通过反应区，固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内
颗粒悬浮立式管式炉的炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。
注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量等
炉管为高纯石英管，炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔径可单定制。.粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行沉积实验
流化床立式管式炉是门针对粉末表面沉积的CVD实验。反应气体和均匀地通过反应区固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量等
| 电炉名称 | 颗粒悬浮立式管式炉 Sigma Vertical tube furnace for particle suspension |
| 流化区域 |
反应气体和均匀地通过反应区 固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内 炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。 注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量 |
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多孔石英板 |
孔径：5~15 um 尺寸：44mm I.D x 4mm t |
| 炉体结构 |
双层壳体结构并带有风冷系统 炉体设计为开启式，以方便放样和取样 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有高温氧化铝涂层，可延长仪器使用寿命和提高加热效率 炉体上、下端设计有法兰支撑平台； 炉体设计为开启式，以方便与更换炉管； 采用高纯氧化铝作为炉膛材料； |
| 额定温度 | 1200℃ |
| 工作温度 | 1100℃ |
| 大升温速率 | <= 20 oC /min |
| 炉管尺寸和材料 |
采用高纯石英炉管 炉管尺寸：50mm; ID: 44mm; L: 610mm |
| 加热区 | 200mm(单温区） |
| 恒温区 | 100mm(+/-2oC) |
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温控系统 |
可设置30段升温，保温和降温程序。 采用PID方式来调节温度，并带有过热和断偶保护 控温精度：+/- 1 ºC 控温仪表操作视频 |
| 加热元件 | 掺钼铁铬铝合金 |
| 密封法兰 | 仪器中配有一对不锈钢密封法兰，上面安装有不锈钢截止阀和机械压力表 |
| 外形尺寸 | 340mm×300mm×1000mm ( W x L x H) |
| 大功率 | 1.2KW |
| 输入电源 | AC220V 单相, 50/60 Hz |
| 质保期 | 一年质保期（不包含炉管、密封圈和加热元件） |
1、炉管内气压不可高于0.02MPa
2、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精度安全
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
5、石英管的长时间使用温度＜1100℃
6、由对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等
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