高温真空烧结炉介绍：

高温真空烧结炉是一种专用于高温烧结用途的高温工业电炉，经过精密设计，严格制造。高温真空烧结炉采用热处理行业高标准、高质量的耐火材料、保温材料、加热材料，工作温度1650℃。具有性能稳定，使用寿命长、升温速度快、高效节能的点。主要供陶瓷、玻璃、琉璃、氮化硅、纳米材料、氧化铝烧结热处理。

高温真空烧结炉原理：

真空感应钨烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下，利用中频感应加热的原理，使处于线圈内的钨坩埚产生高温，通过热辐射传导到工作上，适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。

高温真空烧结炉使用范围：

高温真空烧结炉主要应用于金属材料（如钼、钨、铌，钽等）、非金属材料（如氧化铝透明陶瓷、碳化硅、碳化硼等）、高温合金材料的烧结工艺。针对特殊产品，方便用户的使用，也可以设计成立式炉（上出料或下出料结构）。

高温真空烧结炉用途：

用于金属粉末制品、光电元件、硬质合金、磁性合金、陶瓷、粉体材料及其它稀有及难熔金属材料的烧结，同时具备一定的脱蜡功能。

高温真空烧结炉特点：

1 、控制采用计算机系统，预设多种工艺曲线，自动完成渗碳等工艺。

2 、 具有完善的报警系统，能有效的对设备提供保护。

3 、额定加热温度可达到2000℃，温度均匀性可达到±5℃,控温精度±1℃，

4 、低温段和高温段分别采用不同控温元件进行控温，自动切换。

高温真空烧结炉型号选型参考

此系列真空烧结炉产品为研发型项目，可针对用户的产品做出针对性很强的烧结炉设计方案。

可选型号有低温烧结炉和高温烧结。

型号:	有效区尺寸(mm)	装炉量 (kg)	加热材料	加热功率 (kw)	额定温度(℃)	温度均匀性 (±℃)	极限真空度(Pa)	压升率(Pa/h)
SGM-335	300×300×450	100	石墨	60	1300/2300	5	4×10-3	0.5
SGM-446	400×400×600	200	石墨	80	1300/2300	5	4×10-3	0.5
SGM-557	500×500×700	300	石墨	100	1300/2300	5	4×10-3	0.5
SGM-669	600×600×900	500	石墨	120	1300/2300	5	4×10-3	0.5
SGM-8812	800×800×1200	1000	石墨	210	1300/2300	5	4×10-3	0.5

 

高温真空烧结炉操作使用流程：

　　1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水充满，水中不得有杂质。

　　2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。

　　3．检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。

　　4．检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一级卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸合格。

　　5．检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。

　　6．检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。

　　7．检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。

　　8．在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频启动规则，试启动变频，成功后停止变频，方可开炉。

　　9．真空炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便观察和测温。

　　10．装炉时应根据不同烧结产品，采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘，不得随意更改。

　　11．为了保持恒温，防止热辐射，加热坩埚上加二层碳纤维，再罩上隔热屏。

　　12．垫好真空密封胶带。

　　13．操作杠杆手把，转动真空炉顶盖与炉体密切重合，放下顶盖，并锁好固定螺母。

　　14．徐徐打开蝶阀，抽炉体空气，至真空度达到规定值。

　　15．在真空度达到规定要求后，开始启动变频，调整中频功率，按有关材质的烧结规定操作；升温、保温冷却。

　　16．烧结完毕后，停止变频，按停止变频开关，逆变停止工作，断开中频电源分闸与断开电源总闸。

　　17．从炉体观察孔观察炉膛发黑后，先关闭真空泵蝶阀与断开真空泵电流，再接自来水继续冷却感应圈和炉体，设计 后停水泵。

　　18．中频电压750伏有触电危险。在整个操作和检查过程中，要注意操作安全，不要用手接触中频电柜。

　　19．在烧结过程中，随时从炉体侧面观察孔观察感应圈是否发生放弧现象，如发现异常现象，应立即报告有关人员处理。

　　20．启动真空蝶阀应缓慢，否则会因抽气过急而冒油，带来不良后果。

　　21．正确使用转动式麦氏真空计，否则会造成真空读数误差或因操作过急而使水银溢出造成公害。

　　22．注意真空泵皮带盘安全运行。

　　23．在垫真空密封胶带，盖炉体顶盖时，注意防止压手。

　　24．凡在真空条件下，容易挥发影响真空卫生，造成管道堵塞、真空泵脏化的工件或容器，不得入炉。

　　25．凡产品加有成型剂(如油或石蜡)，脱掉方可入炉烧结，否则会造成不良后果。26．全部烧结过程中，要注意水表压力范围和冷却水循环，以免发生事故。

 

高温真空烧结炉使用注意事项：

　　1、由于模具一般由用户自备，模具材料基本上选用高纯石墨，其耐压极限为40MPa，建议用户使用在30MPa以下比较安全，加压前应计算模具上、下冲头的面积，再换算成压力，具体公式如下：系统允许加压（吨）=上或下冲头面积×30MPa

　　2、热电偶为钨铼型，使用过会发脆，不能接触。如损坏应及时更换。

　　3、冬天应注意循环水的保暖问题，否则易发生水管爆裂。

　　4、使用后炉体应保持真空，因真空烧结炉炉内保温层易受潮，保真空这样下次抽真空会快些。

　　5、因设备较复杂，建议专人使用，专人负责，对新手严格实行用前培训，用后检查，操作使用要有记录等设备使用规定。

　　6、本高温真空热压炉也可当作真空烧结炉使用，用于真空烧结炉时注意，在炉内放置坩埚后，在盖上保温屏盖后不要忘记再盖其中间的小盖。否则易烧损电炉。

　　7、操作前应做到清洁观察窗玻璃，清洁炉内壁，观察水压情况，观察炉内石墨是否有损坏，上电后观察仪表显示是否正常，测试液压系统能否正常工作。

　　8、真空烧结炉使用一年后应将仪表后送计量部门进行校对。

 

真空烧结炉操作注意事项：

1、除了做实验外，不要停留在真空烧结炉管区。

2、实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2流动， 炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如:cleanhood灯光、煮酸用的小电炉或其它，请及时关掉。

处理HF时，请务必戴手套，如不小心碰到HF时，需要立刻冲水，用葡萄酸钙加2%之水，揉擦伤处15'。

3、石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。

4、避免吸入从真空烧结炉或处理槽所冒出之各种气体。

5、氰化钾(KCN)不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之KCN气体。

6、一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员(技术员等)。

7、请节约纯水用量。

8、破晶片、滤纸、棉花棒.......等，请勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。

9、长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。

10、晶片进出真空烧结炉炉口时，承接boat的holder，请勿碰触炉管口，以免污染炉管。